目前，国内仅有一个厂商宣称拥有5纳米光刻设备，并计划于2021年投入生产。该厂商是中国创新投资集团旗下公司——华大智造。据华大智造介绍，其5纳米光刻机是基于先进的EUV技术，可实现高精度、大量生产的芯片制造，具备全球领先的性能和技术优势。
这一举措是中国在芯片领域上加强自主研发的重要举措，为推动国内半导体制造业发展注入了新的动力。
目前，国产5nm芯片还没有面市。虽然一些厂商已经在5nm芯片研发上取得了一定成果，但是要真正实现量产还需要一段时间。其中，关键的一点是台积电已经在5nm芯片生产上取得了一定的领先优势，目前国内芯片厂商在技术上还需要迎头赶上，同时还需要考虑产业链、供应链等多个方面的问题。但相信随着国产芯片的不断发展，未来国内5nm芯片的研发和应用也会越来越成熟。